河北首台套生产金刚石高端装备在围场下线

河北日报客户端讯(xùn)（记者陈宝云）5月30日，我省首台套金刚石(jīngāngshí)微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）高端装备在围场满族蒙古族自治县下线(xiàxiàn)。

据了解，传统金刚石(jīngāngshí)制备技术长期依赖(yīlài)进口装备，成本高、工艺受限。由河北投实晶(tóushíjīng)铠科技有限公司自主研发的MPCVD高端装备通过优化微波等离子体参数，将金刚石单晶沉积速率提升，达到(dádào)国际领先水平。

“我们(wǒmen)依托围场富集(fùjí)的绿电资源，采用绿电耦合技术，设备综合能耗降低40%，可生产出纯度达99.999%的高品质金刚石，满足半导体级应用需求。装备可连续(liánxù)作业2000小时无故障(wúgùzhàng)，为规模化生产奠定基础，真正实现(shíxiàn)了技术自主可控和‘绿电造绿钻’零碳闭环生产，实现经济效益与环境效益双赢(shuāngyíng)。”河北投实晶铠科技有限公司技术总监吴伟庆说。

金刚石作为半导体终极(zhōngjí)材料，具有硬度高、耐腐蚀性强、导热性能优异等特性。“全球金刚石装备市场正在以年均25%增速扩张，而传统工业制造面临纯度低和能耗高等技术短板，MPCVD技术恰好破解了这些难题。”承德凯捷新能源(néngyuán)科技(kējì)有限公司(gōngsī)总经理申伟东说，凯捷公司决定与投实晶铠公司深度(shēndù)合作，利用(lìyòng)园区资源优势，实现绿电高效利用，绿色材料反哺，绿色能源价值跃升。

围场作为“国家首批绿色能源示范县”，清洁(qīngjié)能源并网(bìngwǎng)总量已达748.81万千瓦。近年来，围场积极布局金刚石(jīngāngshí)产业，通过精准(jīngzhǔn)招引与深度合作，对接清华大学(qīnghuádàxué)等(děng)知名院所，着力打造(dǎzào)“钒锂电池+氢能利用+装备制造”特色产业，因地制宜培育新质生产力，聚焦MPCVD设备及高端金刚石制造领域，创新提出“点石成金”“阳光制绿氢”“绿电造绿钻”等新能源消纳特色方案，将清洁电力与玄武岩加工、光敏半导体(bàndǎotǐ)耦合制氢、半导体级金刚石制备等产业深度融合，实现资源就地转化，推动产业集群化、高端化发展。